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삼성전자 반도체가 EUV를 활용하는 방법 | 반도체 공정

삼성전자 반도체 파운드리 사업부는 최근, EUV Minimum Pitch Single Patterning 논문을 발표했습니다. 삼성전자 반도체는 EUV를 활용해서 어떤 결과를 만들었을까요? 해당 논문의 총괄 저자 안정훈 마스터가 직접 설명하는 EUV, OPC 그리고 노력의 결과까지 지금 바로 영상에서 확인하세요. 📌편하게 보기 00:00 프롤로그 00:19 인물 소개 00:48 BEOL 이란? 01:30 SLO와 Micro-bridge 01:51 MPT를 선택했던 이유 02:06 MPT의 한계 03:01 OPC 최적화 03:25 SLO와 Micro-bridge 최적화 방향 04:04 개선 효과 04:32 TDDB 검증 04:51 노력의 결과 #삼성전자반도체 #EUV #OPC

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